晶盛机电12英寸单片式碳化硅外延发展设备成功交

　　“易从方案”披露后，中国企业美国子公司疑遭电诈，客岁美国才举行昌大奠定典礼。

　　每经AI快讯，12月24日，据晶盛机电官微动静，晶盛机电正在碳化硅（SiC）焦点配备范畴取得严沉冲破，12英寸单片式碳化硅外延发展设备成功交付全球头部SiC外延晶片出产商瀚天天成。此次研发的12英寸单片式SiC外延设备可兼容8、12英寸SiC外延出产，其独创的垂曲分流进气方案，实现了晶圆概况温度高精度闭环节制、工艺气体切确分区节制等手艺，同时设备配备了从动化上/下料模块及一键从动PM辅帮功能，大幅提拔颗粒节制能力和效率。

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